ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವೇಫರ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಪ್ಲೇಟ್ ಎಂದರೇನು?

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ತ್ವರಿತ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಉದ್ಯಮದ ಪ್ರಮಾಣವು ವೇಗವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿದೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳು ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸಂಕೀರ್ಣತೆಗೆ ವಿಕಸನಗೊಳ್ಳುತ್ತಲೇ ಇವೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರೋಧನ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಕಡಿಮೆ ವಿಸ್ತರಣೆ ಇತ್ಯಾದಿಗಳ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದರಿಂದ, ಇದನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಯಂತ್ರ, ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್/ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ/ಪ್ರಸರಣ ಶಾಖ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಉಪಕರಣಗಳು, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರ, ಶೇಖರಣಾ ಉಪಕರಣಗಳು, ಅರೆವಾಹಕ ಎಚ್ಚಣೆ ಉಪಕರಣಗಳು, ಅಯಾನು ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳ ಭಾಗಗಳಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು, ಆದ್ದರಿಂದ ನಿಖರವಾದ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಭಾಗಗಳ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಯು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯ ಮೇಲೆ ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಅದರ ತಯಾರಿಕೆಯ ತಾಂತ್ರಿಕ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿವೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ, 99.7%-99.9% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ, ಉತ್ತಮ ಶಾಖ ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಬಳಕೆಯು ಅತ್ಯಂತ ಶ್ರೇಷ್ಠ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ. ಕತ್ತರಿಸಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಪುಡಿ ಮಾಡಲು ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೇಫರ್‌ನ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವ ಮೂಲಕ ಸುಧಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ (ಡಿಸ್ಕ್ ವಸ್ತು, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ದ್ರವ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೇಗ, ಇತ್ಯಾದಿ). ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಎರಕಹೊಯ್ದ ಕಬ್ಬಿಣದ ಫಲಕಗಳ ಬದಲಿಗೆ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಫಲಕಗಳ ಬಳಕೆ, ಗುರುತುಗಳು ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ವೇಫರ್‌ನ ಮುಖ್ಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ರುಬ್ಬುವುದನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು, ಲೋಹದ ಅಯಾನುಗಳ ಪರಿಚಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು, ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನ ನಂತರದ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು, ನಂತರದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ (ಸವೆತ) ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು, ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ನಷ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ವೇಫರ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಪ್ಲೇಟ್ಇದನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ, ಪೆಟ್ರೋಲಿಯಂ, ರಾಸಾಯನಿಕ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ, ದ್ರವ ಸ್ಫಟಿಕ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಭಾಗಗಳು, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಭಾಗಗಳು, ಮೈಕ್ರೋವೇವ್ ಇಂಡಕ್ಷನ್ ಡಿಸ್ಕ್, ನಿರೋಧನ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಭಾಗಗಳು, ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳು, ನಿರ್ವಾತ ಉಪಕರಣಗಳು, ದ್ರವ ಸ್ಫಟಿಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಭಾಗಗಳಂತಹ ಇತರ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ನೀಲಮಣಿ ಉದ್ಯಮ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಚಿಪ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಅನ್ವಯಿಕ ಮೌಲ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಇದು ನೀಲಮಣಿ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹೊಳಪು (CMP) ಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಬೆಂಬಲ ಮತ್ತು ಉಪಭೋಗ್ಯವಾಗಿದೆ. ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು LCD ಗಾಗಿ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ತಲಾಧಾರವಾಗಿಯೂ ಬಳಸಬಹುದು.